Clean Room
ห้องที่มีการออกแบบ การก่อสร้าง และการใช้งาน ที่มีการควบคุม จํานวนอนุภาคและปัจจัยอื่นๆ เช่น อุณหภูมิความดันอากาศ ความชื้นให้เป็นไปตามชนิดและ มาตรฐานของห้องสะอาดนั้นๆ โดยหลักการที่สําคัญของห้องสะอาดมี 4 ประการ คือ ป้องกันอนุภาคจากภายนอกเข้าไปในห้อง ป้องกันการสะสมของอนุภาคภายในห้อง ป้องกันการ ก่อให้เกิดอนุภาคภายในห้อง และหากมีอนุภาคเกิดขึ้นภายในห้อง ต้องรีบกําจัดออกไปทันที